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那諾中國(guó)有限公司專(zhuān)注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸、香港、澳門(mén)和中國(guó)臺(tái)灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性?xún)r(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器。那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。

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全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)是一種高度集成的薄膜沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子工程、光學(xué)涂層、半導(dǎo)體制造以及表面處理等領(lǐng)域。磁控濺射技術(shù)作為一種常用的物理氣相沉積(PVD)方法,能夠精確控制薄膜的厚度、成分以及表面質(zhì)量。則通過(guò)自動(dòng)化控制、精密傳輸、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等技術(shù)手段,實(shí)現(xiàn)了高效、穩(wěn)定且高精度的薄膜沉積過(guò)程。全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)的主要組成部分:1.真空室:真空室是磁控濺射系統(tǒng)的核心部分,其作用是為濺射過(guò)程提供低壓環(huán)境。通過(guò)泵系統(tǒng)將真空室抽真空,保證濺射過(guò)程中氣體的稀薄度,從而實(shí)現(xiàn)高效的...
2025-11-26全自動(dòng)原子層沉積系統(tǒng)是一種利用自限性化學(xué)反應(yīng),精確控制材料厚度并沉積超薄薄膜的技術(shù)。ALD技術(shù)以其在材料科學(xué)、微電子學(xué)和納米技術(shù)中的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),特別是在沉積均勻性、材料一致性、以及在復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)上的沉積能力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電器件、太陽(yáng)能電池、儲(chǔ)能器件等領(lǐng)域。全自動(dòng)原子層沉積系統(tǒng)的部分組成:1.反應(yīng)腔體:反應(yīng)腔體是ALD沉積過(guò)程的核心,通常采用不銹鋼或鋁合金材料制造,以承受高溫高壓,并保證反應(yīng)過(guò)程中的氣體流動(dòng)和反應(yīng)的充分進(jìn)行。腔體內(nèi)部設(shè)計(jì)有適配不同氣體引入的接口。2.氣體輸...
2025-10-29磁控濺射系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積的技術(shù),特別是在半導(dǎo)體、光電、涂層及材料研究領(lǐng)域中。它的基本原理是利用高能粒子撞擊靶材,將靶材的原子或分子濺射出來(lái),并在基板上形成薄膜。磁控濺射技術(shù)的獨(dú)特之處在于其利用磁場(chǎng)來(lái)增強(qiáng)等離子體密度,從而提高濺射效率。磁控濺射系統(tǒng)的具體工作過(guò)程:1.等離子體的產(chǎn)生:先通過(guò)高壓電源為氣體提供足夠的能量,使氣體分子被電離,形成等離子體。常用的氣體是氬氣(Ar)或氬氮混合氣。2.離子加速與濺射:電場(chǎng)加速等離子體中的離子,并將其導(dǎo)向靶材表面。當(dāng)這些高能離子...
2025-09-27磁控濺射是一種廣泛應(yīng)用于薄膜材料沉積的物理氣相沉積(PVD)技術(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、太陽(yáng)能、電池、顯示器、硬盤(pán)、光學(xué)鏡頭等領(lǐng)域的生產(chǎn)和研發(fā)。磁控濺射系統(tǒng)通過(guò)將靶材中的原子或分子撞擊到基材表面,形成薄膜材料,具有高質(zhì)量的薄膜沉積效果和較高的沉積速率。磁控濺射技術(shù)的核心原理是通過(guò)電磁場(chǎng)產(chǎn)生的約束作用,使離子化氣體(通常為氬氣)在靶材表面形成高能電子束,從而使靶材表面原子激發(fā)出來(lái),并沉積到基材上,形成均勻的薄膜。磁控濺射系統(tǒng)的主要組成部分:1.真空腔體:真空腔體是核心部分,通...
2025-08-27全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)以其高效、精確、自動(dòng)化的特點(diǎn),在半導(dǎo)體、光電子、MEMS等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,其在精度、效率和智能化方面將進(jìn)一步提升,推動(dòng)更多高精密制造領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展。全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)的基本工作流程:1.預(yù)處理與參數(shù)設(shè)定操作人員通過(guò)觸摸屏或計(jì)算機(jī)界面輸入刻蝕工藝所需的參數(shù),如氣體流量、壓力、功率、刻蝕時(shí)間等。這些參數(shù)會(huì)直接影響到等離子體的產(chǎn)生與穩(wěn)定性,從而影響刻蝕效果。2.氣體流量與等離子體的調(diào)控系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量與壓力,確保等離子...
2025-05-28晶圓清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中至關(guān)重要的設(shè)備之一,主要用于清洗晶圓表面上的雜質(zhì)、污垢和化學(xué)殘留物,以確保晶圓表面的潔凈度和質(zhì)量。這些雜質(zhì)和污染物的存在可能會(huì)影響后續(xù)的光刻、蝕刻、沉積等工藝,進(jìn)而影響芯片的性能和可靠性。因此,晶圓清洗是半導(dǎo)體生產(chǎn)中一個(gè)關(guān)鍵的工藝步驟。晶圓清洗機(jī)的工作原理:1.超聲波清洗:利用超聲波的高頻振動(dòng)將晶圓表面上的污垢、污染物分散開(kāi)來(lái)。超聲波的作用可以有效去除微小的顆粒和化學(xué)殘留物。2.噴淋清洗:使用高壓的噴淋系統(tǒng)將化學(xué)溶液噴射到晶圓表面,幫助去除污染物。...
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